原子分解能走査透過型電子顕微鏡・STEM
（日本電子 JEM-ARM200F）
著名な電子顕微鏡学者でありナノテク研究者でもある米テキサス大学サンアントニオ校（UTSA）※の物理・天文学部長であるYacaman博士曰く、「新発見の可能性は大きい。まるで原子観察のためのハッブル宇宙望遠鏡だ」（日本電子ウェブサイトより抜粋）
※UTSAでは2010年1月にJEM-ARM200Fを導入した。
【特徴】
照射系収差補正装置を搭載し、機械的・電気的安定度を極限まで高めることで、STEM (HAADF)分解能0.08 nmが実現された、走査透過電子顕微鏡です。収差補正された電子プローブは、通常の透過電子顕微鏡に比べて、1桁以上高い電流密度を得ることが可能です。この鋭く細い、大電流密度の電子プローブを用いることで、原子レベルの分析が可能になっています。また、エネルギー分散型Ｘ線分析装置が装備されており、元素分析を行うことができます。
【仕様】
| 加速電圧 | 200 kV |
|---|---|
| 電子銃 | ショットキー型電界放出銃 |
| 分解能 | 0.08 nm（走査透過像） 0.19 nm（透過顕微鏡 粒子像） 0.10 nm（透過顕微鏡 格子像） |
| 倍率 | 100 - 150,000,000（走査透過像） 50 - 2,000,000（透過顕微鏡像） |
| 照射系収差補正装置 | 組み込み |
